Основы технологии электронной компонентной базы учеб. пособие
Рассмотрены основные технологические операции создания активных элементов кремниевых ИС, химическая и плазмохимическая обработка кремния, введение примесей в кремний, методы формирования диэлектрических слоев, литография, создание контактов и металлических соединений. Для студентов (бакалавров, спец...
Сохранить в:
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Andre forfattere: | , |
| Format: | Книга |
| Sprog: | Russian |
| Udgivet: |
Москва
МИЭТ
2022
|
| Online adgang: | https://e.lanbook.com/book/324848 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324848.jpg |
| Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|
| Summary: | Рассмотрены основные технологические операции создания активных элементов кремниевых ИС, химическая и плазмохимическая обработка кремния, введение примесей в кремний, методы формирования диэлектрических слоев, литография, создание контактов и металлических соединений. Для студентов (бакалавров, специалистов, магистров), изучающих основы технологии изготовления ИС. |
|---|---|
| Fysisk beskrivelse: | 268 с. |
| Publikum: | Книга из коллекции МИЭТ - Инженерно-технические науки СЭБ |
| Bibliografi: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |
| ISBN: | 978-5-7256-0991-2 |