Ga door naar de inhoud

Основы технологии электронной компонентной базы учеб. пособие

Рассмотрены основные технологические операции создания активных элементов кремниевых ИС, химическая и плазмохимическая обработка кремния, введение примесей в кремний, методы формирования диэлектрических слоев, литография, создание контактов и металлических соединений. Для студентов (бакалавров, спец...

Volledige beschrijving

Bewaard in:
Bibliografische gegevens
Hoofdauteur: Голишников А. А.
Andere auteurs: Сагунова И. В., Шевяков В. И.
Formaat: Книга
Taal:Russian
Gepubliceerd in: Москва МИЭТ 2022
Online toegang:https://e.lanbook.com/book/324848
https://e.lanbook.com/img/cover/book/324848.jpg
Tags: Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
LEADER 01816nam0a2200289 i 4500
001 324848
003 RuSpLAN
005 20240216150942.0
008 240216s2022 ru gs 000 0 rus
020 |a 978-5-7256-0991-2 
040 |a RuSpLAN 
041 0 |a rus 
044 |a ru 
080 |a 621.382.049.77(075.8) 
245 0 0 |a Основы технологии электронной компонентной базы  |b учеб. пособие  |c Голишников А. А.,Сагунова И. В.,Шевяков В. И. 
260 |a Москва  |b МИЭТ  |c 2022 
300 |a 268 с. 
504 |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань 
520 8 |a Рассмотрены основные технологические операции создания активных элементов кремниевых ИС, химическая и плазмохимическая обработка кремния, введение примесей в кремний, методы формирования диэлектрических слоев, литография, создание контактов и металлических соединений. Для студентов (бакалавров, специалистов, магистров), изучающих основы технологии изготовления ИС. 
521 8 |a Книга из коллекции МИЭТ - Инженерно-технические науки 
521 8 |a СЭБ 
100 1 |a Голишников А. А. 
700 1 |a Сагунова И. В. 
700 1 |a Шевяков В. И. 
856 4 |u https://e.lanbook.com/book/324848 
856 4 8 |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/324848.jpg 
953 |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/324848.jpg