Основы технологии электронной компонентной базы учеб. пособие
Рассмотрены основные технологические операции создания активных элементов кремниевых ИС, химическая и плазмохимическая обработка кремния, введение примесей в кремний, методы формирования диэлектрических слоев, литография, создание контактов и металлических соединений. Для студентов (бакалавров, спец...
Shranjeno v:
| Glavni avtor: | |
|---|---|
| Drugi avtorji: | , |
| Format: | Книга |
| Jezik: | Russian |
| Izdano: |
Москва
МИЭТ
2022
|
| Online dostop: | https://e.lanbook.com/book/324848 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324848.jpg |
| Oznake: |
Označite
Brez oznak, prvi označite!
|