Основы технологии электронной компонентной базы учеб. пособие
Рассмотрены основные технологические операции создания активных элементов кремниевых ИС, химическая и плазмохимическая обработка кремния, введение примесей в кремний, методы формирования диэлектрических слоев, литография, создание контактов и металлических соединений. Для студентов (бакалавров, спец...
Đã lưu trong:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Tác giả khác: | , |
| Định dạng: | Книга |
| Ngôn ngữ: | Russian |
| Được phát hành: |
Москва
МИЭТ
2022
|
| Truy cập trực tuyến: | https://e.lanbook.com/book/324848 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324848.jpg |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|