Основы технологии электронной компонентной базы учеб. пособие
Рассмотрены основные технологические операции создания активных элементов кремниевых ИС, химическая и плазмохимическая обработка кремния, введение примесей в кремний, методы формирования диэлектрических слоев, литография, создание контактов и металлических соединений. Для студентов (бакалавров, спец...
Сохранить в:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 其他作者: | , |
| 格式: | Книга |
| 语言: | Russian |
| 出版: |
Москва
МИЭТ
2022
|
| 在线阅读: | https://e.lanbook.com/book/324848 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324848.jpg |
| 标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|