Плазменные процессы в наноэлектронике, микро- и наносистемной технике учеб. пособие
Рассмотрены базовые плазменные технологии и их применение в производстве ИС, МЭМС и НЭМС. Описаны процессы плазменного травления, плазмоактивируемого химического осаждения из газовой фазы, осаждения функциональных слоев магнетронным распылением и процессы плазменной иммерсионной ионной имплантации....
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Москва
МИЭТ
2022
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/324851 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324851.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 02011nam0a2200277 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 324851 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20240216150942.0 | ||
| 008 | 240216s2022 ru gs 000 0 rus | ||
| 020 | |a 978-5-7256-0992-9 | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 080 | |a 621.38.049.77-022.532:533.9 (075.8) | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Плазменные процессы в наноэлектронике, микро- и наносистемной технике |b учеб. пособие |c Голишников А. А.,Путря М. Г. |
| 260 | |a Москва |b МИЭТ |c 2022 | ||
| 300 | |a 164 с. | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Рассмотрены базовые плазменные технологии и их применение в производстве ИС, МЭМС и НЭМС. Описаны процессы плазменного травления, плазмоактивируемого химического осаждения из газовой фазы, осаждения функциональных слоев магнетронным распылением и процессы плазменной иммерсионной ионной имплантации. Для студентов, обучающихся по дисциплинам «Технология интегральных схем», «Проектирование и технология электронной компонентной базы» и «Технологические процессы наноэлектроники». | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции МИЭТ - Инженерно-технические науки | |
| 521 | 8 | |a СЭБ | |
| 100 | 1 | |a Голишников А. А. | |
| 700 | 1 | |a Путря М. Г. | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/324851 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/324851.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/324851.jpg | ||