Плазменные процессы в наноэлектронике, микро- и наносистемной технике учеб. пособие
Рассмотрены базовые плазменные технологии и их применение в производстве ИС, МЭМС и НЭМС. Описаны процессы плазменного травления, плазмоактивируемого химического осаждения из газовой фазы, осаждения функциональных слоев магнетронным распылением и процессы плазменной иммерсионной ионной имплантации....
Salvato in:
| Autore principale: | |
|---|---|
| Altri autori: | |
| Natura: | Книга |
| Lingua: | Russian |
| Pubblicazione: |
Москва
МИЭТ
2022
|
| Accesso online: | https://e.lanbook.com/book/324851 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324851.jpg |
| Tags: |
Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne! !
|