Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. При...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Санкт-Петербург
Лань
2023
|
| Ausgabe: | 3-е изд., стер. |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://e.lanbook.com/book/324977 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324977.jpg |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| LEADER | 03512nam0a2200541 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 324977 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20240216150942.0 | ||
| 008 | 240216s2023 ru gs 000 0 rus | ||
| 020 | |a 978-5-507-46956-7 | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 080 | |a 54:621.38 | ||
| 084 | |a 32.85я73 |2 rubbk | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем |b учебное пособие для вузов |c Родионов Ю. А. |
| 250 | |a 3-е изд., стер. | ||
| 260 | |a Санкт-Петербург |b Лань |c 2023 | ||
| 300 | |a 220 с. | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств». | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции Лань - Инженерно-технические науки | |
| 653 | 0 | |a электроника | |
| 653 | 0 | |a микроэлектроника | |
| 653 | 0 | |a микросхемы | |
| 653 | 0 | |a химические процессы | |
| 653 | 0 | |a химические технологии | |
| 653 | 0 | |a деионизованная вода | |
| 653 | 0 | |a химическая очистка поверхности | |
| 653 | 0 | |a подложка | |
| 653 | 0 | |a технологический слой | |
| 653 | 0 | |a удаление загрязнений | |
| 653 | 0 | |a фоторезист | |
| 653 | 0 | |a химическое травление | |
| 653 | 0 | |a кремний | |
| 653 | 0 | |a диоксид кремния | |
| 653 | 0 | |a нитрид кремния | |
| 653 | 0 | |a металлические пленки | |
| 653 | 0 | |a электрохимическое травление | |
| 653 | 0 | |a плазмохимическое травление | |
| 653 | 0 | |a химическое нанесение пленок | |
| 653 | 0 | |a химическое осаждение | |
| 653 | 0 | |a электрохимическое осаждение | |
| 653 | 0 | |a эпитаксия | |
| 100 | 1 | |a Родионов Ю. А. | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/324977 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/324977.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/324977.jpg | ||