Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. При...
Kaydedildi:
| Yazar: | |
|---|---|
| Materyal Türü: | Книга |
| Dil: | Russian |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
Санкт-Петербург
Лань
2023
|
| Edisyon: | 3-е изд., стер. |
| Konular: | |
| Online Erişim: | https://e.lanbook.com/book/324977 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324977.jpg |
| Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|