Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. При...
Shranjeno v:
| Glavni avtor: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Jezik: | Russian |
| Izdano: |
Санкт-Петербург
Лань
2023
|
| Izdaja: | 3-е изд., стер. |
| Teme: | |
| Online dostop: | https://e.lanbook.com/book/324977 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324977.jpg |
| Oznake: |
Označite
Brez oznak, prvi označite!
|
