Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. При...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Médium: | Книга |
| Jazyk: | Russian |
| Vydáno: |
Санкт-Петербург
Лань
2023
|
| Vydání: | 3-е изд., стер. |
| Témata: | |
| On-line přístup: | https://e.lanbook.com/book/324977 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324977.jpg |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|