Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. При...
Αποθηκεύτηκε σε:
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Μορφή: | Книга |
| Γλώσσα: | Russian |
| Έκδοση: |
Санкт-Петербург
Лань
2023
|
| Έκδοση: | 3-е изд., стер. |
| Θέματα: | |
| Διαθέσιμο Online: | https://e.lanbook.com/book/324977 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324977.jpg |
| Ετικέτες: |
Προσθήκη ετικέτας
Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!
|