Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. При...
Guardado en:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Книга |
| Lenguaje: | Russian |
| Publicado: |
Санкт-Петербург
Лань
2023
|
| Edición: | 3-е изд., стер. |
| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://e.lanbook.com/book/324977 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324977.jpg |
| Etiquetas: |
Agregar Etiqueta
Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!
|