Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. При...
Zapisane w:
| 1. autor: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Język: | Russian |
| Wydane: |
Санкт-Петербург
Лань
2023
|
| Wydanie: | 3-е изд., стер. |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://e.lanbook.com/book/324977 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324977.jpg |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|