Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. При...
Збережено в:
| Автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Санкт-Петербург
Лань
2023
|
| Редагування: | 3-е изд., стер. |
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | https://e.lanbook.com/book/324977 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324977.jpg |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|