Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. При...
Сохранить в:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 格式: | Книга |
| 语言: | Russian |
| 出版: |
Санкт-Петербург
Лань
2023
|
| 版: | 3-е изд., стер. |
| 主题: | |
| 在线阅读: | https://e.lanbook.com/book/324977 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324977.jpg |
| 标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|