Плазменная электроника учеб. пособие
Соответствует требованиям ФГОС по направлению подготовки «Нанотехнологии и микросистемная техника». Является базовым для освоения дисциплин, посвященных методам и устройствам получения микро-, нано-объектов и материалов. Рассмотрены общие вопросы физики плазмы и газовых разрядов, методы диагностики...
Tallennettuna:
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Книга |
| Kieli: | Russian |
| Julkaistu: |
Иркутск
ИРНИТУ
2021
|
| Linkit: | https://e.lanbook.com/book/325331 https://e.lanbook.com/img/cover/book/325331.jpg |
| Tagit: |
Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|
| Yhteenveto: | Соответствует требованиям ФГОС по направлению подготовки «Нанотехнологии и микросистемная техника». Является базовым для освоения дисциплин, посвященных методам и устройствам получения микро-, нано-объектов и материалов. Рассмотрены общие вопросы физики плазмы и газовых разрядов, методы диагностики плазмы, плазменные источники ионов, газоразрядные источники ионов и плазменные лазеры. Предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Вакуумная и плазменная электроника». |
|---|---|
| Ulkoasu: | 150 с. |
| Yleisö: | Книга из коллекции ИРНИТУ - Инженерно-технические науки СЭБ |
| Bibliografia: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |