Плазменная электроника учеб. пособие
Соответствует требованиям ФГОС по направлению подготовки «Нанотехнологии и микросистемная техника». Является базовым для освоения дисциплин, посвященных методам и устройствам получения микро-, нано-объектов и материалов. Рассмотрены общие вопросы физики плазмы и газовых разрядов, методы диагностики...
Enregistré dans:
| Auteur principal: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Langue: | Russian |
| Publié: |
Иркутск
ИРНИТУ
2021
|
| Accès en ligne: | https://e.lanbook.com/book/325331 https://e.lanbook.com/img/cover/book/325331.jpg |
| Tags: |
Ajouter un tag
Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!
|
| Résumé: | Соответствует требованиям ФГОС по направлению подготовки «Нанотехнологии и микросистемная техника». Является базовым для освоения дисциплин, посвященных методам и устройствам получения микро-, нано-объектов и материалов. Рассмотрены общие вопросы физики плазмы и газовых разрядов, методы диагностики плазмы, плазменные источники ионов, газоразрядные источники ионов и плазменные лазеры. Предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Вакуумная и плазменная электроника». |
|---|---|
| Description matérielle: | 150 с. |
| Public: | Книга из коллекции ИРНИТУ - Инженерно-технические науки СЭБ |
| Bibliographie: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |