Плазменная электроника учеб. пособие
Соответствует требованиям ФГОС по направлению подготовки «Нанотехнологии и микросистемная техника». Является базовым для освоения дисциплин, посвященных методам и устройствам получения микро-, нано-объектов и материалов. Рассмотрены общие вопросы физики плазмы и газовых разрядов, методы диагностики...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Иркутск
ИРНИТУ
2021
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/325331 https://e.lanbook.com/img/cover/book/325331.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 01826nam0a2200265 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 325331 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20240216150942.0 | ||
| 008 | 240216s2021 ru gs 000 0 rus | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 080 | |a 533 | ||
| 084 | |a 32.851; 32.852 |2 rubbk | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Плазменная электроника |b учеб. пособие |c Строкин Н. А. |
| 260 | |a Иркутск |b ИРНИТУ |c 2021 | ||
| 300 | |a 150 с. | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Соответствует требованиям ФГОС по направлению подготовки «Нанотехнологии и микросистемная техника». Является базовым для освоения дисциплин, посвященных методам и устройствам получения микро-, нано-объектов и материалов. Рассмотрены общие вопросы физики плазмы и газовых разрядов, методы диагностики плазмы, плазменные источники ионов, газоразрядные источники ионов и плазменные лазеры. Предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Вакуумная и плазменная электроника». | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции ИРНИТУ - Инженерно-технические науки | |
| 521 | 8 | |a СЭБ | |
| 100 | 1 | |a Строкин Н. А. | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/325331 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/325331.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/325331.jpg | ||