Плазменная электроника учеб. пособие
Соответствует требованиям ФГОС по направлению подготовки «Нанотехнологии и микросистемная техника». Является базовым для освоения дисциплин, посвященных методам и устройствам получения микро-, нано-объектов и материалов. Рассмотрены общие вопросы физики плазмы и газовых разрядов, методы диагностики...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Иркутск
ИРНИТУ
2021
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/325331 https://e.lanbook.com/img/cover/book/325331.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
