Электроны и ионы в электронике учеб. пособие
Соответствует требованиям ФГОС по направлению подготовки «Нанотехнологии и микросистемная техника». Является базовым пособием для освоения дисциплин, посвященных методам и устройствам получения микро-, нанообъектов и материалов. Рассмотрены вопросы генерации электронных пучков, методы и устройства с...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Иркутск
ИРНИТУ
2021
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/325334 https://e.lanbook.com/img/cover/book/325334.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| Краткое описание: | Соответствует требованиям ФГОС по направлению подготовки «Нанотехнологии и микросистемная техника». Является базовым пособием для освоения дисциплин, посвященных методам и устройствам получения микро-, нанообъектов и материалов. Рассмотрены вопросы генерации электронных пучков, методы и устройства создания глубокого вакуума и измерения степени разряжения, принципы действия электровакуумных и газоразрядных электронных ламп, микроэлектроники, методы и устройства ускорения ионов. Предназначено для студентов электротехнических специальностей, изучающих дисциплину «Вакуумная и плазменная электроника». |
|---|---|
| Объем: | 184 с. |
| Аудитория: | Книга из коллекции ИРНИТУ - Инженерно-технические науки СЭБ |
| Библиография: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |