Электроны и ионы в электронике учеб. пособие
Соответствует требованиям ФГОС по направлению подготовки «Нанотехнологии и микросистемная техника». Является базовым пособием для освоения дисциплин, посвященных методам и устройствам получения микро-, нанообъектов и материалов. Рассмотрены вопросы генерации электронных пучков, методы и устройства с...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Language: | Russian |
| Published: |
Иркутск
ИРНИТУ
2021
|
| Online Access: | https://e.lanbook.com/book/325334 https://e.lanbook.com/img/cover/book/325334.jpg |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|