Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов Ч. 1 Плазмохимическое травление материалов электронной техники : учебно-методическое пособие для вузов
Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров....
Saved in:
| Format: | Книга |
|---|---|
| Language: | Russian |
| Published: |
Воронеж
ВГУ
2014
|
| Online Access: | https://e.lanbook.com/book/357416 https://e.lanbook.com/img/cover/book/357416.jpg |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Summary: | Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров. |
|---|---|
| Physical Description: | 28 с. |
| Audience: | Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки СЭБ |
| Bibliography: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |