Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов Ч. 1 Плазмохимическое травление материалов электронной техники : учебно-методическое пособие для вузов
Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров....
Gardado en:
| Formato: | Книга |
|---|---|
| Idioma: | Russian |
| Publicado: |
Воронеж
ВГУ
2014
|
| Acceso en liña: | https://e.lanbook.com/book/357416 https://e.lanbook.com/img/cover/book/357416.jpg |
| Метки: |
Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|
| Краткое описание: | Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров. |
|---|---|
| Descrición Física: | 28 с. |
| Público: | Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки СЭБ |
| Bibliografía: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |