Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов Ч. 1 Плазмохимическое травление материалов электронной техники : учебно-методическое пособие для вузов
Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров....
Salvato in:
| Natura: | Книга |
|---|---|
| Lingua: | Russian |
| Pubblicazione: |
Воронеж
ВГУ
2014
|
| Accesso online: | https://e.lanbook.com/book/357416 https://e.lanbook.com/img/cover/book/357416.jpg |
| Tags: |
Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne! !
|
| Riassunto: | Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров. |
|---|---|
| Descrizione fisica: | 28 с. |
| Pubblico: | Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки СЭБ |
| Bibliografia: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |