Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов Ч. 1 Плазмохимическое травление материалов электронной техники : учебно-методическое пособие для вузов
Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров....
Сохранить в:
| 格式: | Книга |
|---|---|
| 语言: | Russian |
| 出版: |
Воронеж
ВГУ
2014
|
| 在线阅读: | https://e.lanbook.com/book/357416 https://e.lanbook.com/img/cover/book/357416.jpg |
| 标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|
| 总结: | Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров. |
|---|---|
| 实物描述: | 28 с. |
| 读者: | Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки СЭБ |
| 参考书目: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |