Цитирование APA (7-е изд.)
(2014). Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме: учебно-методическое пособие для вузов. ВГУ.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме: учебно-методическое пособие для вузов. Воронеж: ВГУ, 2014.
Цитирование MLA (8-е изд.)Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме: учебно-методическое пособие для вузов. ВГУ, 2014.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.