Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов Ч. 3 Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме : учебно-методическое пособие для вузов
Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров....
Guardat en:
| Format: | Книга |
|---|---|
| Idioma: | Russian |
| Publicat: |
Воронеж
ВГУ
2014
|
| Accés en línia: | https://e.lanbook.com/book/357422 https://e.lanbook.com/img/cover/book/357422.jpg |
| Etiquetes: |
Afegir etiqueta
Sense etiquetes, Sigues el primer a etiquetar aquest registre!
|
| Sumari: | Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров. |
|---|---|
| Descripció física: | 21 с. |
| Destinataris: | Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки СЭБ |
| Bibliografia: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |