Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов Ч. 3 Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме : учебно-методическое пособие для вузов
Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров....
Сохранить в:
| Формат: | Книга |
|---|---|
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Воронеж
ВГУ
2014
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/357422 https://e.lanbook.com/img/cover/book/357422.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
