Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов Ч. 3 Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме : учебно-методическое пособие для вузов
Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров....
Shranjeno v:
| Format: | Книга |
|---|---|
| Jezik: | Russian |
| Izdano: |
Воронеж
ВГУ
2014
|
| Online dostop: | https://e.lanbook.com/book/357422 https://e.lanbook.com/img/cover/book/357422.jpg |
| Oznake: |
Označite
Brez oznak, prvi označite!
|