Технологии наноэлектроники: Лабораторный практикум
Лабораторный практикум содержит описания лабораторных работ: «Напыление тонких металлических пленок термическим способом в вакууме», «Получение тонкопленочных материалов методом магнетронного распыления», «Лазерная обработка материалов и изделий микро- и наноэлектроники», «Измерение оптических парам...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | , , , , , , |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Москва
РТУ МИРЭА
2023
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/382745 https://e.lanbook.com/img/cover/book/382745.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 03116nam0a2200361 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 382745 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20240216150951.0 | ||
| 008 | 240216s2023 ru gs 000 0 rus | ||
| 020 | |a 978-5-7339-1951-5 | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 080 | |a 620.3 | ||
| 084 | |a 22.3 |2 rubbk | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Технологии наноэлектроники: Лабораторный практикум |c Федулов Ф. А.,Шахурин Е. С.,Буряков А. М.,Лаптева М. С.,Шерстю Н. Э.,Фетисов Ю. К.,Мишина Е. Д.,Шаранов К. П. |
| 260 | |a Москва |b РТУ МИРЭА |c 2023 | ||
| 300 | |a 79 с. | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Лабораторный практикум содержит описания лабораторных работ: «Напыление тонких металлических пленок термическим способом в вакууме», «Получение тонкопленочных материалов методом магнетронного распыления», «Лазерная обработка материалов и изделий микро- и наноэлектроники», «Измерение оптических параметров кристаллов и тонких пленок методом лазерной эллипсометрии». Практикум разработан для курсов «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» (бакалавры), «Устройства микро- и наносистемной техники» (бакалавры), «Техника эксперимента» (магистры) и «Методы контроля материалов и устройств наноэлектроники и микросистемной техники» (магистры). Практикум предназначен для бакалавров и магистров Института перспективных технологий и индустриального программирования РТУ МИРЭА по направлениям подготовки 11.03.04, 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» и 28.03.01, 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника». | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции РТУ МИРЭА - Инженерно-технические науки | |
| 521 | 8 | |a СЭБ | |
| 100 | 1 | |a Федулов Ф. А. | |
| 700 | 1 | |a Шахурин Е. С. | |
| 700 | 1 | |a Буряков А. М. | |
| 700 | 1 | |a Лаптева М. С. | |
| 700 | 1 | |a Шерстю Н. Э. | |
| 700 | 1 | |a Фетисов Ю. К. | |
| 700 | 1 | |a Мишина Е. Д. | |
| 700 | 1 | |a Шаранов К. П. | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/382745 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/382745.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/382745.jpg | ||