Технологии наноэлектроники: Лабораторный практикум
Лабораторный практикум содержит описания лабораторных работ: «Напыление тонких металлических пленок термическим способом в вакууме», «Получение тонкопленочных материалов методом магнетронного распыления», «Лазерная обработка материалов и изделий микро- и наноэлектроники», «Измерение оптических парам...
Сохранить в:
| Главный автор: | Федулов Ф. А. |
|---|---|
| Другие авторы: | Шахурин Е. С., Буряков А. М., Лаптева М. С., Шерстю Н. Э., Фетисов Ю. К., Мишина Е. Д., Шаранов К. П. |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Москва
РТУ МИРЭА
2023
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/382745 https://e.lanbook.com/img/cover/book/382745.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
Схожие документы
-
Физические основы наноэлектроники
Автор: Филиппов В. В.
Опубликовано: (2024) -
Технология микро- и наноэлектроники технология материалов магнитоэлектроники. лабораторный практикум
Автор: Канева, И. И. -
Физические основы наноэлектроники учебное пособие
Автор: Филиппов В. В.
Опубликовано: (2018) -
Специальные главы наноэлектроники Учебное пособие
Автор: Драгунов В.П -
Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники Учебное пособие
Автор: Патрушева Т.Н