Технологии наноэлектроники: Лабораторный практикум
Лабораторный практикум содержит описания лабораторных работ: «Напыление тонких металлических пленок термическим способом в вакууме», «Получение тонкопленочных материалов методом магнетронного распыления», «Лазерная обработка материалов и изделий микро- и наноэлектроники», «Измерение оптических парам...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | , , , , , , |
| Format: | Книга |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Москва
РТУ МИРЭА
2023
|
| Online Zugang: | https://e.lanbook.com/book/382745 https://e.lanbook.com/img/cover/book/382745.jpg |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|