Проектирование и моделирование МЭМС
В учебном пособии рассмотрены проектные процедуры проектирования МЭМСакселерометра и высокочастотного МЭМС-переключателя и методики моделирования этих устройств с применением специализированных систем автоматизированного проектирования. Особое внимание уделено анализу деформации в корпусе и интеграц...
Shranjeno v:
| Glavni avtor: | |
|---|---|
| Drugi avtorji: | , |
| Format: | Книга |
| Jezik: | Russian |
| Izdano: |
Москва
РТУ МИРЭА
2023
|
| Online dostop: | https://e.lanbook.com/book/382754 https://e.lanbook.com/img/cover/book/382754.jpg |
| Oznake: |
Označite
Brez oznak, prvi označite!
|
| Izvleček: | В учебном пособии рассмотрены проектные процедуры проектирования МЭМСакселерометра и высокочастотного МЭМС-переключателя и методики моделирования этих устройств с применением специализированных систем автоматизированного проектирования. Особое внимание уделено анализу деформации в корпусе и интеграции модели в систему и интегральную схему. Пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» (01.03.04, 01.04.04) и «Нанотехнологии и микросистемная техника» (28.03.01 28.04.01) в рамках обучения по дисциплине «Моделирование и проектирование элементов электронной компонентной базы» и «Моделирование и проектирование микро- и наносистем», а также будет полезно инженерам, специализирующимся в области проектирования МЭМС. |
|---|---|
| Fizični opis: | 190 с. |
| Publika: | Книга из коллекции РТУ МИРЭА - Инженерно-технические науки СЭБ |
| Bibliografija: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |
| ISBN: | 978-5-7339-1952-2 |