Проектирование и моделирование МЭМС
В учебном пособии рассмотрены проектные процедуры проектирования МЭМСакселерометра и высокочастотного МЭМС-переключателя и методики моделирования этих устройств с применением специализированных систем автоматизированного проектирования. Особое внимание уделено анализу деформации в корпусе и интеграц...
Sparad:
| Huvudupphovsman: | |
|---|---|
| Övriga upphovsmän: | , |
| Materialtyp: | Книга |
| Språk: | Russian |
| Publicerad: |
Москва
РТУ МИРЭА
2023
|
| Länkar: | https://e.lanbook.com/book/382754 https://e.lanbook.com/img/cover/book/382754.jpg |
| Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|
| Sammanfattning: | В учебном пособии рассмотрены проектные процедуры проектирования МЭМСакселерометра и высокочастотного МЭМС-переключателя и методики моделирования этих устройств с применением специализированных систем автоматизированного проектирования. Особое внимание уделено анализу деформации в корпусе и интеграции модели в систему и интегральную схему. Пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» (01.03.04, 01.04.04) и «Нанотехнологии и микросистемная техника» (28.03.01 28.04.01) в рамках обучения по дисциплине «Моделирование и проектирование элементов электронной компонентной базы» и «Моделирование и проектирование микро- и наносистем», а также будет полезно инженерам, специализирующимся в области проектирования МЭМС. |
|---|---|
| Fysisk beskrivning: | 190 с. |
| Publik: | Книга из коллекции РТУ МИРЭА - Инженерно-технические науки СЭБ |
| Bibliografi: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |
| ISBN: | 978-5-7339-1952-2 |