Проектирование и моделирование МЭМС
В учебном пособии рассмотрены проектные процедуры проектирования МЭМСакселерометра и высокочастотного МЭМС-переключателя и методики моделирования этих устройств с применением специализированных систем автоматизированного проектирования. Особое внимание уделено анализу деформации в корпусе и интеграц...
Kaydedildi:
Yazar: | |
---|---|
Diğer Yazarlar: | , |
Materyal Türü: | Книга |
Dil: | Russian |
Baskı/Yayın Bilgisi: |
Москва
РТУ МИРЭА
2023
|
Online Erişim: | https://e.lanbook.com/book/382754 https://e.lanbook.com/img/cover/book/382754.jpg |
Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|
Özet: | В учебном пособии рассмотрены проектные процедуры проектирования МЭМСакселерометра и высокочастотного МЭМС-переключателя и методики моделирования этих устройств с применением специализированных систем автоматизированного проектирования. Особое внимание уделено анализу деформации в корпусе и интеграции модели в систему и интегральную схему. Пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» (01.03.04, 01.04.04) и «Нанотехнологии и микросистемная техника» (28.03.01 28.04.01) в рамках обучения по дисциплине «Моделирование и проектирование элементов электронной компонентной базы» и «Моделирование и проектирование микро- и наносистем», а также будет полезно инженерам, специализирующимся в области проектирования МЭМС. |
---|---|
Fiziksel Özellikler: | 190 с. |
İzleyiciler: | Книга из коллекции РТУ МИРЭА - Инженерно-технические науки СЭБ |
Bibliyografya: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |
ISBN: | 978-5-7339-1952-2 |