Проектирование и моделирование МЭМС
В учебном пособии рассмотрены проектные процедуры проектирования МЭМСакселерометра и высокочастотного МЭМС-переключателя и методики моделирования этих устройств с применением специализированных систем автоматизированного проектирования. Особое внимание уделено анализу деформации в корпусе и интеграц...
Збережено в:
| Автор: | |
|---|---|
| Інші автори: | , |
| Формат: | Книга |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Москва
РТУ МИРЭА
2023
|
| Онлайн доступ: | https://e.lanbook.com/book/382754 https://e.lanbook.com/img/cover/book/382754.jpg |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Резюме: | В учебном пособии рассмотрены проектные процедуры проектирования МЭМСакселерометра и высокочастотного МЭМС-переключателя и методики моделирования этих устройств с применением специализированных систем автоматизированного проектирования. Особое внимание уделено анализу деформации в корпусе и интеграции модели в систему и интегральную схему. Пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» (01.03.04, 01.04.04) и «Нанотехнологии и микросистемная техника» (28.03.01 28.04.01) в рамках обучения по дисциплине «Моделирование и проектирование элементов электронной компонентной базы» и «Моделирование и проектирование микро- и наносистем», а также будет полезно инженерам, специализирующимся в области проектирования МЭМС. |
|---|---|
| Фізичний опис: | 190 с. |
| Аудиторія: | Книга из коллекции РТУ МИРЭА - Инженерно-технические науки СЭБ |
| Бібліографія: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |
| ISBN: | 978-5-7339-1952-2 |