Проектирование и моделирование МЭМС
В учебном пособии рассмотрены проектные процедуры проектирования МЭМСакселерометра и высокочастотного МЭМС-переключателя и методики моделирования этих устройств с применением специализированных систем автоматизированного проектирования. Особое внимание уделено анализу деформации в корпусе и интеграц...
Sparad:
Huvudupphovsman: | |
---|---|
Övriga upphovsmän: | , |
Materialtyp: | Книга |
Språk: | Russian |
Publicerad: |
Москва
РТУ МИРЭА
2023
|
Länkar: | https://e.lanbook.com/book/382754 https://e.lanbook.com/img/cover/book/382754.jpg |
Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|
LEADER | 02549nam0a2200301 i 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | 382754 | ||
003 | RuSpLAN | ||
005 | 20240216150951.0 | ||
008 | 240216s2023 ru gs 000 0 rus | ||
020 | |a 978-5-7339-1952-2 | ||
040 | |a RuSpLAN | ||
041 | 0 | |a rus | |
044 | |a ru | ||
080 | |a 621.382.049.77 | ||
084 | |a 30.2-5-05 |2 rubbk | ||
245 | 0 | 0 | |a Проектирование и моделирование МЭМС |c Соловьев А. А.,Певцов Е. Ф.,Миннебаев В. М. |
260 | |a Москва |b РТУ МИРЭА |c 2023 | ||
300 | |a 190 с. | ||
504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
520 | 8 | |a В учебном пособии рассмотрены проектные процедуры проектирования МЭМСакселерометра и высокочастотного МЭМС-переключателя и методики моделирования этих устройств с применением специализированных систем автоматизированного проектирования. Особое внимание уделено анализу деформации в корпусе и интеграции модели в систему и интегральную схему. Пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» (01.03.04, 01.04.04) и «Нанотехнологии и микросистемная техника» (28.03.01 28.04.01) в рамках обучения по дисциплине «Моделирование и проектирование элементов электронной компонентной базы» и «Моделирование и проектирование микро- и наносистем», а также будет полезно инженерам, специализирующимся в области проектирования МЭМС. | |
521 | 8 | |a Книга из коллекции РТУ МИРЭА - Инженерно-технические науки | |
521 | 8 | |a СЭБ | |
100 | 1 | |a Соловьев А. А. | |
700 | 1 | |a Певцов Е. Ф. | |
700 | 1 | |a Миннебаев В. М. | |
856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/382754 | |
856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/382754.jpg |
953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/382754.jpg |