Проектирование и моделирование МЭМС
В учебном пособии рассмотрены проектные процедуры проектирования МЭМСакселерометра и высокочастотного МЭМС-переключателя и методики моделирования этих устройств с применением специализированных систем автоматизированного проектирования. Особое внимание уделено анализу деформации в корпусе и интеграц...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Format: | Книга |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
РТУ МИРЭА
2023
|
| Online Access: | https://e.lanbook.com/book/382754 https://e.lanbook.com/img/cover/book/382754.jpg |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|