Проектирование и моделирование МЭМС
В учебном пособии рассмотрены проектные процедуры проектирования МЭМСакселерометра и высокочастотного МЭМС-переключателя и методики моделирования этих устройств с применением специализированных систем автоматизированного проектирования. Особое внимание уделено анализу деформации в корпусе и интеграц...
Sparad:
Huvudupphovsman: | |
---|---|
Övriga upphovsmän: | , |
Materialtyp: | Книга |
Språk: | Russian |
Publicerad: |
Москва
РТУ МИРЭА
2023
|
Länkar: | https://e.lanbook.com/book/382754 https://e.lanbook.com/img/cover/book/382754.jpg |
Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|