Проектирование и моделирование МЭМС
В учебном пособии рассмотрены проектные процедуры проектирования МЭМСакселерометра и высокочастотного МЭМС-переключателя и методики моделирования этих устройств с применением специализированных систем автоматизированного проектирования. Особое внимание уделено анализу деформации в корпусе и интеграц...
Сохранить в:
主要作者: | |
---|---|
其他作者: | , |
格式: | Книга |
语言: | Russian |
出版: |
Москва
РТУ МИРЭА
2023
|
在线阅读: | https://e.lanbook.com/book/382754 https://e.lanbook.com/img/cover/book/382754.jpg |
标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|