Проектирование и моделирование МЭМС
В учебном пособии рассмотрены проектные процедуры проектирования МЭМСакселерометра и высокочастотного МЭМС-переключателя и методики моделирования этих устройств с применением специализированных систем автоматизированного проектирования. Особое внимание уделено анализу деформации в корпусе и интеграц...
Сохранить в:
Hovedforfatter: | Соловьев А. А. |
---|---|
Andre forfattere: | Певцов Е. Ф., Миннебаев В. М. |
Format: | Книга |
Sprog: | Russian |
Udgivet: |
Москва
РТУ МИРЭА
2023
|
Online adgang: | https://e.lanbook.com/book/382754 https://e.lanbook.com/img/cover/book/382754.jpg |
Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|
Lignende værker
-
МЭМС: резонаторы и генераторы учебное пособие
af: Косых А. В.
Udgivet: (2015) -
МЭМС: инерциальные системы, микроактюаторы, датчики учебное пособие
af: Косых А. В.
Udgivet: (2015) -
ВЧ МЭМС и их применение
af: Варадан В., и др. -
Математическое моделирование и проектирование Учебное пособие
af: Коломейченко А.С -
Математическое моделирование и проектирование Учебное пособие
af: Коломейченко А.С