Проектирование и моделирование МЭМС
В учебном пособии рассмотрены проектные процедуры проектирования МЭМСакселерометра и высокочастотного МЭМС-переключателя и методики моделирования этих устройств с применением специализированных систем автоматизированного проектирования. Особое внимание уделено анализу деформации в корпусе и интеграц...
Сохранить в:
Главный автор: | Соловьев А. А. |
---|---|
Другие авторы: | Певцов Е. Ф., Миннебаев В. М. |
Формат: | Книга |
Язык: | Russian |
Опубликовано: |
Москва
РТУ МИРЭА
2023
|
Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/382754 https://e.lanbook.com/img/cover/book/382754.jpg |
Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
Схожие документы
-
МЭМС: резонаторы и генераторы учебное пособие
Автор: Косых А. В.
Опубликовано: (2015) -
МЭМС: инерциальные системы, микроактюаторы, датчики учебное пособие
Автор: Косых А. В.
Опубликовано: (2015) -
ВЧ МЭМС и их применение
Автор: Варадан В., и др. -
Математическое моделирование и проектирование Учебное пособие
Автор: Коломейченко А.С -
Математическое моделирование и проектирование Учебное пособие
Автор: Коломейченко А.С