Проектирование и моделирование МЭМС
В учебном пособии рассмотрены проектные процедуры проектирования МЭМСакселерометра и высокочастотного МЭМС-переключателя и методики моделирования этих устройств с применением специализированных систем автоматизированного проектирования. Особое внимание уделено анализу деформации в корпусе и интеграц...
Сохранить в:
Hovedforfatter: | |
---|---|
Andre forfattere: | , |
Format: | Книга |
Sprog: | Russian |
Udgivet: |
Москва
РТУ МИРЭА
2023
|
Online adgang: | https://e.lanbook.com/book/382754 https://e.lanbook.com/img/cover/book/382754.jpg |
Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|