Технология тонких пленок: практикум
Практикум подготовлен кандидатами технических наук, доцентами Д. М. Никулиным и доцентом М. П. Егоренко на кафедре фотоники и приборостроения СГУГиТ. Предназначен для обучающихся при выполнении практических работ по получению тонких пленок, а также их контролю и измерению толщины. Содержит методичес...
Сохранить в:
| Главный автор: | Никулин Д. М. |
|---|---|
| Другие авторы: | Егоренко М. П. |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Новосибирск
СГУГиТ
2023
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/393743 https://e.lanbook.com/img/cover/book/393743.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
Схожие документы
-
Технология тонких пленок учебное пособие для вузов
Автор: Антоненко С. В.
Опубликовано: (2008) -
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
Автор: Васильев В. Ю.
Опубликовано: (2019) -
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
Автор: Васильев, В. Ю. -
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники Учебное пособие
Автор: Васильев В.Ю -
Оптические свойства тонких диэлектрических пленок учебное пособие
Автор: Твердохлеб П. Е.
Опубликовано: (2019)