Диэлектрические пленки для ИС
В монографии рассматриваются вопросы получения диэлектрических пленок в планарной технологии изготовления ИС, физико-химических свойств тонких диэлектрических пленок для ИС, распределения заряда в тонких диэлектрических пленках и влияние излучений на МДП-структуры. Данная работа представляет интерес...
Gorde:
| Egile nagusia: | |
|---|---|
| Beste egile batzuk: | |
| Formatua: | Книга |
| Hizkuntza: | Russian |
| Argitaratua: |
Махачкала
ДГТУ
2021
|
| Sarrera elektronikoa: | https://e.lanbook.com/book/404174 https://e.lanbook.com/img/cover/book/404174.jpg |
| Etiketak: |
Etiketa erantsi
Etiketarik gabe, Izan zaitez lehena erregistro honi etiketa jartzen!
|
| Gaia: | В монографии рассматриваются вопросы получения диэлектрических пленок в планарной технологии изготовления ИС, физико-химических свойств тонких диэлектрических пленок для ИС, распределения заряда в тонких диэлектрических пленках и влияние излучений на МДП-структуры. Данная работа представляет интерес для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования технологии изготовления и применения ИС. |
|---|---|
| Deskribapen fisikoa: | 228 с. |
| Hartzaileak: | Книга из коллекции ДГТУ - Химия СЭБ |
| Bibliografia: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |
| ISBN: | 5-230-12861-5 |