Диэлектрические пленки для ИС
В монографии рассматриваются вопросы получения диэлектрических пленок в планарной технологии изготовления ИС, физико-химических свойств тонких диэлектрических пленок для ИС, распределения заряда в тонких диэлектрических пленках и влияние излучений на МДП-структуры. Данная работа представляет интерес...
Salvato in:
| Autore principale: | |
|---|---|
| Altri autori: | |
| Natura: | Книга |
| Lingua: | Russian |
| Pubblicazione: |
Махачкала
ДГТУ
2021
|
| Accesso online: | https://e.lanbook.com/book/404174 https://e.lanbook.com/img/cover/book/404174.jpg |
| Tags: |
Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne! !
|
| Riassunto: | В монографии рассматриваются вопросы получения диэлектрических пленок в планарной технологии изготовления ИС, физико-химических свойств тонких диэлектрических пленок для ИС, распределения заряда в тонких диэлектрических пленках и влияние излучений на МДП-структуры. Данная работа представляет интерес для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования технологии изготовления и применения ИС. |
|---|---|
| Descrizione fisica: | 228 с. |
| Pubblico: | Книга из коллекции ДГТУ - Химия СЭБ |
| Bibliografia: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |
| ISBN: | 5-230-12861-5 |