Перейти до змісту

Диэлектрические пленки для ИС

В монографии рассматриваются вопросы получения диэлектрических пленок в планарной технологии изготовления ИС, физико-химических свойств тонких диэлектрических пленок для ИС, распределения заряда в тонких диэлектрических пленках и влияние излучений на МДП-структуры. Данная работа представляет интерес...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Автор: Саркаров Т. Э.
Інші автори: Шангереева Б. А.
Формат: Книга
Мова:Russian
Опубліковано: Махачкала ДГТУ 2021
Онлайн доступ:https://e.lanbook.com/book/404174
https://e.lanbook.com/img/cover/book/404174.jpg
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!