Диэлектрические пленки для ИС
В монографии рассматриваются вопросы получения диэлектрических пленок в планарной технологии изготовления ИС, физико-химических свойств тонких диэлектрических пленок для ИС, распределения заряда в тонких диэлектрических пленках и влияние излучений на МДП-структуры. Данная работа представляет интерес...
Сохранить в:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 其他作者: | |
| 格式: | Книга |
| 语言: | Russian |
| 出版: |
Махачкала
ДГТУ
2021
|
| 在线阅读: | https://e.lanbook.com/book/404174 https://e.lanbook.com/img/cover/book/404174.jpg |
| 标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|