Вакуумные системы источников синхротронного излучения учебное пособие
Рассмотрены основные требования к вакуумным системам современных источников синхротронного излучения (СИ), особенности их проектирования и расчета. Основной акцент сделан на определяющую роль поверхности в сверхвысоковакуумных установках. Рассмотрены современные подходы к использованию компактных ко...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | |
| Format: | Книга |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Новосибирск
НГТУ
2022
|
| Online Zugang: | https://e.lanbook.com/book/404783 https://e.lanbook.com/img/cover/book/404783.jpg |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Zusammenfassung: | Рассмотрены основные требования к вакуумным системам современных источников синхротронного излучения (СИ), особенности их проектирования и расчета. Основной акцент сделан на определяющую роль поверхности в сверхвысоковакуумных установках. Рассмотрены современные подходы к использованию компактных комбинированных насосов, распределенных насосов на основе геттерных материалов и покрытий в реализации эффективной откачки остаточных газов в протяженных вакуумных системах. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования. Работа подготовлена в рамках мероприятий по выполнению Соглашения № 075-15-2021-1359/1 на реализацию отдельных мероприятий Федеральной научно-технической программы развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на 2019–2027 гг. |
|---|---|
| Beschreibung: | 80 с. |
| Zielpublikum: | Книга из коллекции НГТУ - Инженерно-технические науки СЭБ |
| Bibliographie: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |
| ISBN: | 978-5-7782-4831-1 |